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用于CO2-NOx气体监测的薄膜型传感器

715   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:23:25
本发明属于电化学领域，特别适用于大气监测、 汽车尾气监控及其他科学研究。特征在于传感器由部分稳定的 氧化锆等氧离子导体和钠矽慷(NASICON)或钠beta氧化铝双 固体电解质构成，无参比电极；辅助电极由Ba(NO3)2等硝酸盐及Na2CO3等碳酸盐构成，氧化锆薄膜采用射频溅射技术制作，碳酸盐、硝酸盐采用厚膜技术制作，铂电极可用溅射等薄膜技术制作。整个传感器的直径仅0.8～1.2cm，厚0.3～0.5cm，可同时测试大气中的CO2及NOx含量；信号以毫伏(mV)输出，易于和自控设备连接；应答时间：20－30秒；使用温度：350－450℃；不受氧或氮等气体干扰，可直接放置于大气中；测试范围：1－150ppm NOx；0.01－0.5％CO2。本发明优点在于该传感器体积小，结构简单，成本低，而且可对CO2－NOx两种气体实现同时测量。
声明：
“用于CO2-NOx气体监测的薄膜型传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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