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MSM型多孔氧化嫁日盲探测器及其制造方法

956   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:23:25
本公开提供了一种MSM型多孔氧化嫁日盲探测器及其制造方法，其中探测器包括：外延结构和在外延结构表面蒸镀的MSM电极；外延结构包括：衬底、衬底上的u‑GaN外延层和u‑GaN外延层上的n‑GaN外延层；在n‑GaN外延层上层进行电化学腐蚀得到多孔结构的n‑GaN外延层，对多孔结构的n‑GaN外延层进行氧化处理得到多孔结构的氧化嫁外延层；MSM电极蒸镀在多孔结构的氧化嫁外延层表面。本公开通过热氧化法氧化多孔结构的n‑GaN制备多孔氧化嫁日盲探测器能够显著增大氧化嫁薄膜的比表面积，使更多的氧分子在多孔氧化嫁的表面发生吸附和解吸附，从而大幅度提高氧化嫁探测器的紫外探测性能。
声明：
“MSM型多孔氧化嫁日盲探测器及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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