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使用拉曼光谱法定量测量气相工艺中间体

780   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:23:25
提供了一种定量监测在化学工艺中气相材料的方法，其包括提供含一种或多种所关注的反应物气体的气体进料物流；使气体进料物流暴露于拉曼光谱装置的相干辐射；获得在气体进料物流内的每种气体组分的拉曼光谱信号；分析该光谱信号以确定每种气体组分的存在和浓度；和显示分析的结果。在一个实施方案中，该方法用于定量监测在生产高纯度硅工艺中的气相材料。
声明：
“使用拉曼光谱法定量测量气相工艺中间体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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