合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 机器学习与CVD建模相结合的组分预测方法

机器学习与CVD建模相结合的组分预测方法

937   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:23:24
本发明提供一种机器学习与CVD建模相结合的组分预测方法,确定反应器的尺寸和基片形状尺寸;建立对应的反应器几何模型;为几何区域和边界添加材料属性;模型网格剖分;选择建立多物理场模型,并进行多物理场耦合;建立流体传热和层流模型;建立浓物质传递模型;计算层流和流体传热耦合的物理场,将得到的解作为初始值计算化学和浓物质传递的物理场接口,得到硼碳体系前驱体气体反应得到的各种中间物质的浓度分布;分别得到不同的结果对比分析,最终得到各种沉积工艺条件下的物质浓度分布结果;利用机器学习算法将沉积硼碳比和其联系起来,预测不同沉积条件下沉积的硼碳比,并分析其误差大小。本发明可准确预测沉积产物组分比。
声明:
“机器学习与CVD建模相结合的组分预测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记