公开一种感测和控制系统和方法,其利用空腔谐振和波导测量来直接监测过程状态变量或检测系统的所述状态的变化,并提供直接的原位反馈控制以优化所述过程。所述同一系统可用来监测许多不同的过程参数(包括材料的组成、量、分布和物理或化学性质)或监测系统或子系统的所述状态或健康。所述系统广泛适用于包括从发动机和排气系统到生产设备的大范围的系统和过程。
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