本发明涉及一种气相色谱法测定HF中痕量杂质的设备及方法,属于化学分析技术领域。所述设备中,设备主体侧壁固连有
真空泵,真空泵输出端连通导气管,导气管侧壁连通设有第一、二进气管以及载气管,设备主体内底部固连有放置箱和柱箱,放置箱内顶部固连有连接板,连接板下端固连有加热棒,放置箱上壁贯穿设有安装筒和开口,设备主体侧壁固连有显示器,安装筒上设有加热导气管的驱动机构;导气管、第一、二进气管与载气管上均设阀门,导气管与柱箱连通;柱箱内设有氦离子化检测器;放置箱内填充有二甲基硅油,加热棒延伸至二甲基硅油油面下,安装筒的下端位于二甲基硅油油面下。所述设备及方法提高了氟化氢的痕量杂质分析结果的准确度。
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