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具有光学和涡流监视的集成结束点检测系统

1072   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:20:08
一种化学机械抛光设备(20)和方法,其可使用涡流监视系统(40)和光学监视系统(140)。来自监视系统的信号可以在输出线上组合并被计算机提取。可以计算抛光垫(30)的厚度。涡流监视系统(40)和光学监视系统(140)可测量衬底上的基本上相同的位置。
声明：
“具有光学和涡流监视的集成结束点检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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