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高灵敏度多气体检测的气敏传感器

984   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:35
本发明公开一种高灵敏度多气体检测的气敏传感器，所述气敏传感器是以纳米氧化镍为气敏材料，其特点在于，所述纳米氧化镍是通过包括如下步骤得到：（1）采用三电极体系在ITO玻璃上电化学沉积镍原子层：工作电极为ITO玻璃，辅助电极为Ni，参比电极为饱和甘汞电极，电解液为硫酸镍水溶液；（2）步骤（1）沉积镍原子层后的ITO玻璃在空气气氛下于350～380℃处理60～90min，冷却，超声处理，得到具有玫瑰花状形貌的所述纳米氧化镍。与现有以纳米氧化镍作为气敏材料的气敏传感器相比，本发明的气敏传感器可显著提高对气体的检测灵敏度，特别是浓度低至20ppm以下的灵敏度。
声明：
“高灵敏度多气体检测的气敏传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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