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脂肪族聚氨酯光学终点检测窗口和含有它们的CMP抛光垫

1121   编辑:管理员   来源:中冶有色网  
2023-03-19 07:19:34
本发明提供一种用于抛光例如半导体衬底的化学机械(CMP)抛光垫,具有一个或多个在2mm厚度下将具有325nm或更低波长下的UV截断的终点检测窗口(窗口),且所述化学机械(CMP)抛光垫是(A)30到56wt.%的一种或多种脂环族二异氰酸酯或多异氰酸酯与(B)43到69.9999的(i)平均分子量为500到1,500的聚合二醇,如用于硬质窗口的聚碳酸酯二醇和用于软质窗口的聚醚多元醇,与(ii)平均分子量为120到320的三醇的多元醇混合物,其中聚合二醇(B)(i)与三醇(B)(ii)的重量比在1.6:1到5.2:1范围内,以及催化剂的反应混合物的产物,所述催化剂优选仲胺或叔胺或新癸酸铋,所有重量百分数均以所述反应混合物的总固体重量计。
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“脂肪族聚氨酯光学终点检测窗口和含有它们的CMP抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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