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激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法

1024   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:34
本发明提供了一种激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法，其包括以下步骤：向激光直接成像设备输入拼接误差检测图形的，安装并调试基板的，对基板进行曝光成像，CCD图像处理系统抓取左侧圆心坐标，CCD图像处理系统抓取右侧圆心坐标，最后得到拼接误差值。本发明通过空间光调制器成像在覆有感光干膜的基板上，通过激光直接成像设备自带的CCD图像处理系统分别抓取图形拼接位置两边的圆心坐标，计算两边坐标在X,Y方向的误差，此误差即为拼接误差。此方法省去了化学显影和显微镜测量步骤，极大的提高了检测效率和准确性。
声明：
“激光直接成像设备图形拼接误差的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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