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用于生物分子检测的芯片单元的制备方法

1077   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:32
本发明公开了一种用于生物分子检测的芯片单元的制备方法，包括：衬底上淀积电热绝缘材料、第二侧墙材料、基底材料；光刻和干法刻蚀法制作第一侧墙基底；淀积第一侧墙材料，用湿法腐蚀的方法去除第一侧墙的基底；以第一侧墙为掩膜干法刻蚀第二侧墙材料形成堆叠侧墙1；制作金属层；用薄膜淀积工艺制备绝缘材料层；用化学机械抛光制作纳流体通道，保留剩余的第一侧墙作为通道封顶层，然后去除光刻胶，最后再在通道两侧的金属上方开孔引出电极2即可形成适于生物分子检测的芯片单元。本发明能突破光刻分辨率限制及提高芯片单元与CMOS工艺的兼容性，并提高适于生物分子检测的芯片单元的制备效率。
声明：
“用于生物分子检测的芯片单元的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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