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兆声清洗中晶圆转速检测装置、清洗系统及其工作过程

853   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:19:32
一种兆声清洗中晶圆转速检测装置、清洗系统及其工作过程，所述检测装置与从动带轮组件连接，包括内置于晶圆转子一端的键槽内的第二磁芯、内嵌于晶圆转子带轮套的第一磁芯、连接在从动带轮端部的计数盘和设置在计数盘侧边的转速传感器。所述第二磁芯位于装置的中心位置、第一磁芯位于第二磁芯的一侧，且两者呈异性放置。本发明解决了现有技术中长期存在的问题，采用这种装置，可快速、精确、有效地完成晶圆旋转检测，结构简单，使用方便，而且成本低，有利于提高工作效率和质量，可广泛应用于晶圆的化学机械抛光（CMP）、减薄等领域。
声明：
“兆声清洗中晶圆转速检测装置、清洗系统及其工作过程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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标签：
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