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刻蚀时间检测装置及刻蚀设备

1193   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:17:30
本实用新型公开了一种刻蚀时间检测装置及刻蚀设备，用于解决检测刻蚀时间数据失真严重的问题。本实用新型在刻蚀设备的上下基板上安装了光线透过率检测器件，通过光线的透过率来检测刻蚀液进行化学反应的状态，在透过率到达设定门限时记录刻蚀反应的结束时间，实现刻蚀时间的自动检测，从而解决了传统上目测而产生的误差，得到准确的刻蚀时间，进而实现了工艺优化，提高了良品率。
声明：
“刻蚀时间检测装置及刻蚀设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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