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用于制造含吸气材料层的用于检测电磁辐射的装置的方法

1017   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:13:12
本发明涉及一种用于制造包括至少一个热检测器(10)的电磁辐射检测装置(1)的方法，所述热检测器包括悬置在衬底(2)上方的吸收膜(11)并且旨在位于密封腔(3)中，所述方法包括以下步骤：‑在衬底(2)上沉积包括具有吸气效应的金属材料的、所谓吸气金属层(40)；‑在吸气金属层(40)上沉积非晶碳的所谓的碳质牺牲层(50)；‑在碳质牺牲层(50)上沉积至少一个牺牲矿物层(60A、60B)；‑使牺牲矿物层(60A)化学‑机械平面化；‑制造热检测器(10)，使得吸收膜(11)在牺牲矿物层(60A)上被制造；‑去除牺牲矿物层(60A、60B)；‑去除碳质牺牲层(50)。
声明：
“用于制造含吸气材料层的用于检测电磁辐射的装置的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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