合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 用于制造含吸气材料层的用于检测电磁辐射的装置的方法

用于制造含吸气材料层的用于检测电磁辐射的装置的方法

962   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:13:12
本发明涉及一种用于制造包括至少一个热检测器(10)的电磁辐射检测装置(1)的方法,所述热检测器包括悬置在衬底(2)上方的吸收膜(11)并且旨在位于密封腔(3)中,所述方法包括以下步骤:‑在衬底(2)上沉积包括具有吸气效应的金属材料的、所谓吸气金属层(40);‑在吸气金属层(40)上沉积非晶碳的所谓的碳质牺牲层(50);‑在碳质牺牲层(50)上沉积至少一个牺牲矿物层(60A、60B);‑使牺牲矿物层(60A)化学‑机械平面化;‑制造热检测器(10),使得吸收膜(11)在牺牲矿物层(60A)上被制造;‑去除牺牲矿物层(60A、60B);‑去除碳质牺牲层(50)。
声明:
“用于制造含吸气材料层的用于检测电磁辐射的装置的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记