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用于粘度和质量检测的小型化集成微机电系统（MEMS）光学传感器阵列

786   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:13:09
本发明一般地涉及化学和生物传感器领域，以及特别涉及用于测量流体粘度和检测流体中的微量化学物和生物制剂的微机电系统（MEMS）传感器。本发明的目标是提供将利用远程感测在可置换套筒中工作的传感器，所述远程感测可以测量功能化悬臂在液体环境和气体环境中的动态改变。
声明：
“用于粘度和质量检测的小型化集成微机电系统（MEMS）光学传感器阵列” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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