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制造具有改进的吸气剂保护的检测装置的方法

1122   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:11:28
本发明涉及一种用于制造检测装置的方法，包括以下步骤：·基于位于覆盖热检测器(20)的矿物牺牲层(62)上的无定形碳来产生吸气剂垫(50)；·产生位于矿物牺牲层(62)上并覆盖吸气剂垫(50)的上表面和侧壁的薄封装层；·通过第一化学蚀刻去除矿物牺牲层；·通过第二化学蚀刻去除吸气剂垫(50)的保护段(51)。
声明：
“制造具有改进的吸气剂保护的检测装置的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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