合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法

半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法

605   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:11:26
本发明公开了一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，包括灯塔和灯塔控制单元。灯塔具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合。灯塔控制单元与清洗设备的机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连。灯塔控制单元通过配置文件配置每一单元的不同状态及各单元不同状态的组合与灯塔的输出之间的对应关系；并发送指令至各单元、根据各单元对指令的执行状态反馈信息发送信号至灯塔使其输出相应的颜色和/或声音。本发明使得设备操作者能够及时发现清洗设备出现问题并迅速做出响应。
声明：
“半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：P3MT/N-GE修饰玻碳电极以及在检测农药辛硫磷的应用
下一个：用于爆炸物检测的复合水凝胶及其制备方法

与 “半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法” 相关技术

▪ 工业固废综合回收再利用
▪ 炭浆尾液深度净化与综合利用工程化技术及装备研究
▪ 铝硅合金法提纯硅
▪ 污酸治理方案
▪ 复杂难处理金矿无毒催化提金基础研究
▪ 碱性液硫酸法中和除铝技术
▪ 铬盐生产过程铝钒同步分离与高值化
▪ 溶剂萃取法从钒渣中提钒新工艺
▪ 高温相变蓄热型复合催化剂载体的制备方法
▪ 适用于汽车车身的6XXX铝合金及车身板制备工艺

相关化学分析设备推荐

SF6气体回收净化装置
斯派克 CUBE XRF光谱仪
土壤重金属检测仪
无线土壤墒情监测系统
JN炉前数显测温仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪工业固废综合回收再利用
▪炭浆尾液深度净化与综合利用工程化技术及装备研究
▪铝硅合金法提纯硅
▪污酸治理方案
▪复杂难处理金矿无毒催化提金基础研究
▪碱性液硫酸法中和除铝技术
▪铬盐生产过程铝钒同步分离与高值化
▪溶剂萃取法从钒渣中提钒新工艺
▪高温相变蓄热型复合催化剂载体的制备方法
▪适用于汽车车身的6XXX铝合金及车身板制备工艺

报名参会
更多+

全国有色金属工业电化学第三届学术会议
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
2024年07月12日 ~ 14日
2024固态电池前沿技术发展论坛
2024固态电池前沿技术发展论坛
2024年07月12日 ~ 14日
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月08日 ~ 10日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
8 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:32
9 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
10 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记