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检测晶圆边缘洗边效果的装置及方法

887   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:36
本发明提供了一种检测晶圆边缘洗边效果的装置。所述装置包括:用于放置晶圆的晶圆架;用于探测晶圆是否存在的光敏传感器;用于分辨晶圆边缘有无铜薄膜的颜色分辨光敏传感器;用于判断晶圆边缘洗边工艺是否成功并通知监测人员检测结果的可编程逻辑控制单元。本发明还提供了一种检测晶圆边缘洗边效果的方法:光敏传感器发出探测光探测晶圆架上有无晶圆;颜色分辨光敏传感器发射分辨光分辨晶圆边缘有无铜薄膜,并发送分辨信号;可编程逻辑控制单元接收并根据探测信号和分辨信号判断晶圆边缘洗边是否成功,并报告判断结果,从而避免了大量洗边失败的晶圆被送往后续的化学机械研磨工艺中,增加研磨难度。
声明：
“检测晶圆边缘洗边效果的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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