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激光直接成像设备正反面成像对位误差的检测方法

1012   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:35
本发明的一种激光直接成像设备正反面成像对位误差的检测方法，可解决现有的检测方法效率低下而且检测精度低的技术问题。包括S10、向产品的A面图形边缘添加对位检测标记MARK‑A；S20、向产品的B面图形边缘添加对位检测标记MARK‑B，MARK‑A与MARK‑B中心对齐；S30、向产品基板的对称两板边固定两条与基板等厚度的透明材质；S40、安装并调试基板；S50、对基板A面进行曝光成像；S60、对基板进行左右翻版；S70、对基板B面进行曝光成像；S80、CCD图像处理系统抓取MARK‑A中心坐标；S90、CCD图像处理系统抓取MARK‑B中心坐标；S100、计算MARK‑A与MARK‑B中心坐标误差值。本发明省去了化学显影化学蚀刻化学退膜和X‑Ray照射、显微镜测量等步骤，提高了检测效率和准确性。
声明：
“激光直接成像设备正反面成像对位误差的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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