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检测层间膜非正常研磨的装置及其实现方法

662   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:34
本发明公开了一种检测层间膜非正常研磨的装置,其包括在研磨机台下有一透明容器,该透明容器接收研磨产物和化学试剂,在该透明容器的外面器壁上有一传感器和一报警装置。本发明还公开了上述检测层间膜非正常研磨的装置的实现方法。本发明利用金属和一些化学试剂产生颜色变化的化学特性,通过传感器和报警装置及时发现研磨中金属出现并及时发现并阻止层间膜研磨工艺的非正常研磨,避免更大的损失。
声明：
“检测层间膜非正常研磨的装置及其实现方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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