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负压检测装置和监控设备

876   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 07:08:34
本实用新型公开了一种负压检测装置和监控设备。一种负压检测装置，包括：连接于所述化学气相沉膜设备上的吹气结构；连接于所述吹气结构与所述化学气相沉膜设备的连接处的检测管，引导化学气相沉膜设备中的气体进入所述负压检测装置来检测对应位置的气压；缠绕包裹在所述检测管表面的加热带，加热所述检测管。在化学气相沉膜设备工作过程中会产生一些粉末，粉末会随着气体进入到检测管中，然后会粘附在检测管的管壁上，随着慢慢的积累会将检测管堵塞，现在在检测管外侧设置一个加热带，对加热管进行加热，使管壁温度升高，防止粉末粘附在管壁上堵塞检测管。
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“负压检测装置和监控设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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