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应用于硅片化学机械抛光设备中的定位转换装置

837   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:33
本发明涉及一种定位装置。装置主要包括基板、驱动装置和定位在基板上的由驱动装置驱动的同步定位装置。采用硅片托来放置机械手干末端执行器运送过来的待抛光硅片,伺服电机驱动齿轮转动,齿轮和转盘啮合,进而带动与转盘相连接的各拉钩件转动,从而拉动各定位杆在基板的限位条孔中同时定向移动,当定位杆接触到硅片边缘时即实现定位功能,此时安装在固定板上的光电传感器感测到转盘上限位板的存在,控制中心随即发出指令使伺服电机反转以使定位杆恢复到最初位置。定位前后,分别是机械手的干、湿末端执行器捉取硅片,可以避免末端执行器对已抛光或未抛光硅片的交叉污染。同时该定位过程也为机械手及时更换干/湿末端执行器赢取了时间,有利于硅片装载、抛光过程的顺利进行。
声明：
“应用于硅片化学机械抛光设备中的定位转换装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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