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通过化学气相沉积的单晶合成金刚石材料

1001   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:33
公开了单晶CVD金刚石材料，该材料包含通过二次离子质谱法(SIMS)测量的至少3ppm的总氮浓度；和低的光学双折射，使得:在具有至少1.3mm×1.3mm面积的该单晶CVD金刚石材料的样品中，并且使用在1×1μm2至20×20μm2范围内的面积的像素尺寸测量，Δn[平均]的最大值不超过1.5×10‑4，其中Δn[平均]是将对于与慢轴和快轴平行偏振的光而言的折射率之差遍及样品厚度取平均的平均值。还公开了制备该材料的方法。
声明：
“通过化学气相沉积的单晶合成金刚石材料” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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