本实用新型提供一种晶圆破损侦测装置及检测机台,其中多片待侦测晶圆通过一卡槽固定于化学槽内,光纤收发装置包括第一类光纤收发装置与第二类光纤收发装置;第一类光纤收发装置,均布于正对待侦测晶圆的待侦测面的位置,与待侦测晶圆的边缘设定一第一预设距离;第二类光纤收发装置,对称分布于待侦测晶圆的边缘的两侧,与待侦测晶圆的边缘设定一第二预设距离;第一类光纤收发装置为单发射装置,第二类光纤收发装置为发射接收装置;控制电路包括模数转换器与处理器。有益效果在于:通过调整光纤收发装置的位置和组数,使得晶圆在进出化学槽的过程中,能够及时侦测出晶圆破裂的情况,并及时发出报警信息而停止工作,避免过多的晶圆受到不良影响而导致报废。
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