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化学-机械研磨设备中的浆料再循环

588   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:22
使再循环浆料连续不断地与使用中的浆料混合,可以提供一个一致的研磨速率,同时只消耗或废弃了一小部分连续流过研磨垫板的浆料。浆料是在一收集环内回收,并送到一个再循环回路中,从而使该回收浆料与新鲜浆料、再生化学物或水混合;测试混合物;过滤混合物;使混合物返回研磨垫板。返回研磨垫板的体积略大于回收的体积,因而使收集环溢流。也可以用同样的方式使冲洗水再循环,以便使研磨垫板在两个研磨周期之间保持湿润。
声明：
“化学-机械研磨设备中的浆料再循环” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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