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化学气相沉积钻石的设备

1072   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:22
本发明公开了一种化学气相沉积钻石的设备,包括反应箱,所述反应箱底端设有若干支撑脚,所述反应箱内底壁转动连接有转轴,所述转轴顶端与反应箱内顶壁转动连接,所述转轴表面固定套有若干托盘,若干所述托盘下表面均设有若干电加热器,所述反应箱外侧壁一侧设有微波发生器,所述反应箱外侧壁设有若干散热板,所述反应箱顶端设有两个进气管,两个所述进气管位于反应箱内的一端均固定连接有连接管。本发明中,设置有反应箱、散热板、围板和风扇,从而可以对反应箱侧壁进行降温,进而避免反应箱内侧壁上发生沉积,并且,反应箱内部设有多个托盘和放置板,放置板与托盘之前设有重量传感器,使得该设备可以实时监测合成钻石的重量。
声明:
“化学气相沉积钻石的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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