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化学气相沉积机台之板状构件的平坦度处理方法

861   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:22
本揭示提供一种化学气相沉积机台之板状构件的平坦度处理方法，其包含：(a)绘制对应于一CVD板状构件的一座标系，该座标系上包含若干个座标点；(b)量测每个座标点的平坦度；(c)判断各个座标点的平坦度是否符合一预定平坦度；以及(d)若该各个座标点的平坦度不符合该预定平坦度，则在常温下以一压头向需要进行平坦度调整的座标点施予压力，并回到步骤(b)和(c)。本揭示能够减少CVD板状构件的平坦度调整时间。
声明：
“化学气相沉积机台之板状构件的平坦度处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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