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用于抛光球头工件的化学机械研抛机及设置方法

946   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:21
本发明公开了一种用于抛光球头工件的化学机械研抛机及设置方法，采用研抛模具模块的自转运动和摆动运动的复合运动为待抛光的球头工件表面提供全方位的抛光，可以通过设置自转速度与摆动速度的比值得到最佳的抛光效果，研抛模具模块是为了研抛不同直径尺寸的球头工件的结构，通过对球头工件进行载荷的施加，利用扭矩数据采集模块是将研抛过程中的扭矩通过扭矩传感器以电压信号的方式被采集，以实现对抛光过程的监测，通过设置自转速度和摆动速度的比值，最终得到的转动速度和摆动速度的比值应用于抛光过程，能够实现对球头工件的均匀、准确且高效的抛光，其效果较佳。
声明：
“用于抛光球头工件的化学机械研抛机及设置方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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