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抛光液供给位置核准装置和化学机械抛光系统

605   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:21
本实用新型公开了一种抛光液供给位置核准装置和化学机械抛光系统，所述抛光液供给位置核准装置包括固定座和水平板，所述固定座可拆卸地设置于抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝向抛光盘的中心设置；所述水平板设置于抛光垫与抛光液供给臂之间，抛光液经由所述抛光液供给臂的端部滴落至所述水平板的顶面，水平板的顶面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置。
声明：
“抛光液供给位置核准装置和化学机械抛光系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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