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化学机械研磨设备机台监控系统

790   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:21
本发明是化学机械研磨设备机台监控系统，其结构包括主控模块和分别与主控模块信号连接的阈值设定模块、数值显示模块、报警模块、信号转换模块和监控传感器。本发明的优点：基于PLC开发，是多通道、多类型的信号采集、对比的报警系统。在机台上增加侦测、报警机制，对生产中可能会产生的问题进行提前预防和报警，保证产品质量稳定性。功能多样、数据采集点多、系统集成度高，可以方便移植到其他类似机台上。
声明：
“化学机械研磨设备机台监控系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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