本实用新型公开了一种化学气相淀积反应室用气体注入环,包括气体注入环本体、进气旋钮和反应室本体,所述气体注入环本体的内环设置有调节结构,所述调节结构包括喷气管、翻转轴、锁紧螺母、翻转固定座、进气口和波纹管,所述气体注入环本体的内环均匀连通有喷气管,所述喷气管与气体注入环本体之间设置有翻转固定座,本实用新型通过在喷气管的顶端设置有翻转轴,喷气管与翻转轴固定,利用翻转轴可在翻转固定座上进行伸缩,伸缩完成后并利用两侧锁紧螺母进行锁紧,在翻转的同时,由于采用波纹管连接喷气管和气体注入环本体,因此可将喷气管随意翻转,不会造成气体测出的情况,继而改变喷气角度,提升喷气均匀性。
声明:
“化学气相淀积反应室用气体注入环” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)