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化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头

570   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:20
本实用新型涉及化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头，包括：承载头本体；隔膜，其加装于承载头本体的下面；卡环，包括卡环主体和引导凸起，所述卡环主体隔开地配置于隔膜的外侧面，所述引导凸起在卡环主体的内面凸出形成。承载头本体包括：本体部，其与驱动轴连接并旋转；底座部，其与本体部连接并一同旋转。本体部上端结合于驱动轴并进行旋转驱动。隔膜包括：底板，侧面，多个环形态的隔壁，其在底板的中心与侧面之间，结合于底座部；在隔膜与底座部之间，形成有被隔壁分割的多个压力腔。在多个压力腔，可以提供用于分别测量压力的压力传感器。各压力腔的压力可以按照压力控制部的控制而单独地得到调节。
声明：
“化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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