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金属有机化学气相沉积设备反应腔体结构

840   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:20
本发明公开了一种金属有机化学气相沉积设备反应腔体结构，包括用于外延片生长的衬底承载盘(1)、进气装置(2)、出气装置(3)，衬底承载盘(1)存放在壳体(4)所设的密封腔体内，衬底承载盘(1)通过支撑杆直立支撑，进气装置(2)装设在密封腔体顶部，出气装置(3)装设密封腔体底部。本发明可提高单炉产量，降低反应能耗从而降低生产成本，保证淀积的均匀性，实时监测腔体环境参数，提高反应效率。
声明：
“金属有机化学气相沉积设备反应腔体结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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