合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械平坦化工艺中晶圆边缘区域平整度优化方法

化学机械平坦化工艺中晶圆边缘区域平整度优化方法

844   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:19
本发明公开的化学机械平坦化工艺中晶圆边缘区域平整度优化方法，其步骤为：使用膜厚测量仪测量晶圆的表面形貌，计算并对比边缘区域及中心区域的膜厚均值；在1#抛光盘上采用调整保持环的压力及改变抛光盘与抛光头之间的转速差相结合的分步平坦化方式进行全局粗抛；在2#抛光盘上采用调整保持环压力及改变抛光盘与抛光头之间转速差相结合的分步平坦化方式进行边缘区域平整度改善精抛；在3#抛光盘上使用低压等离子水冲洗晶圆表面。在1#、2#抛光盘上晶圆边缘区域的改善策略为：根据晶圆边缘膜厚与中心膜厚值，调整保持环压力并改变抛光盘与抛光头之间转速差。本发明提供的晶圆边缘区域平整度优化方法，步骤合理，有效改善边缘区域平整度和片内均匀性。
声明：
“化学机械平坦化工艺中晶圆边缘区域平整度优化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：雾无线接入网中基于联邦强化学习的智能编码缓存方法
下一个：用于离子传感器的氢终端金刚石表面电化学修复方法

与 “化学机械平坦化工艺中晶圆边缘区域平整度优化方法” 相关技术

▪ 移动式混汞提金设备固液分离装置
▪ 石墨选矿用烘干装置
▪ 保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪ 电加热回转烘干装置
▪ 环保工程污水处理超滤膜技术
▪ 强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

相关化学分析设备推荐

加拿大五合一多气体检测仪
HGA-E系列串联式火焰石墨炉一体化原子吸收分光光度计
便携式多气体检测仪
地下金银探测器 （美国）
XP-H2S霍尼韦尔硫化氢检测仪 多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪移动式混汞提金设备固液分离装置
▪石墨选矿用烘干装置
▪保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪电加热回转烘干装置
▪环保工程污水处理超滤膜技术
▪强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

报名参会
更多+

2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:124
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:99
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 制样室装修设计技巧
下载:84
10 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记