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多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

857   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:30
本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置。该装置主要包括：绝缘层一、导电层一、内孔工件、气体喷淋头、热丝一、气体喷淋环、热丝二、基片、导电层二、绝缘层二、反应腔体、外部气源、直流加热电源二、直流加热电源一、偏压电源一、偏压电源二、调速电机、抽真空系统、水冷样品台二、水冷样品台一、真空测控系统等。本实用新型既可以实现在工件内孔快速、均匀沉积金刚石薄膜，又可以实现在大面积基片上快速、均匀沉积金刚石薄膜，沉积时反应气体消耗量低，沉积过程中能测控热丝的温度、工件表面的温度和反应腔内的压强，能准确控制金刚石薄膜沉积各项主要工艺参数，工艺重复性好。
声明：
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