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用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置

711   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:30
本实用新型公开了一种用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置，其包括与去离子水输送管和抛光液输送管连通的三通电磁阀、与三通电子阀输出管连通的流量计、与流量计连通的抛光液存储罐、设于抛光液存储罐上方的搅拌电机、由搅拌电机驱动的搅拌叶片、设于抛光液存储罐内的用于冷却的盘管、液位传感装置以及测温装置,抛光液存储罐通过输出管连通至待抛光材料；搅拌电机经由变频调速器控制，所述抛光液存储罐外部设有保温层。本实用新型通过流量计控制抛光液和去离子水的量来配比所需抛光液的浓度，搅拌电机将抛光液和去离子水混合均匀；本实用新型可自动配比抛光液浓度，并通过设置的测温装置来调节盘管内冷却液的温度，以保持温度的恒定。
声明：
“用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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