本专利公开了一种用于动态观察碲锌镉材料化学腐蚀坑的装置,装置由样品腐蚀单元、自动进液单元、废液回收单元和观察测控单元组成。将样品固定在可进行光学观察的腐蚀槽中,通过自动进液单元实现一种或多种腐蚀液和清洗液的自动注入、动态更新和顺序切换,过程中产生的废液由废液回收单元即时回收,观察测控单元集成了显微镜、CCD相机、测控软件以及存储设备,对材料腐蚀的微观过程进行实时观察、采集、显示和存储。本专利能够实时观察记录材料腐蚀坑从产生到消失的动态过程,能够在固定显微视场下原位完成多步腐蚀清洗工艺,能够实现腐蚀过程中腐蚀液的动态更新,有效提高了工艺的可控性、连续性和稳定性,同时改善了腐蚀效果。
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