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化学气相沉积-高温处理一体化高温炉

882   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:30
本实用新型公开了一种化学气相沉积‑高温处理一体化炉,炉盖上配合有炉体,炉体内部安装有加热保温系统,加热保温系统远离炉盖的一端连接有出料盘;体的一侧壁安装有测温装置;该测温装置穿过炉体、加热保温系统进入炉体中心;炉体的另一侧壁安装有电极;出料盘的底部连接有进气系统,该进气系统用以给炉体内部充入气体并与工作件发生反应。对完成沉积过程的材料进行需要高温处理时,由于炉体内部设置有加热及保温系统,通过电极对加热及保温系统的中频感应线圈进行加热,将炉体内部温度升高到1800℃以上进行高温处理,完成材料制备的全过程。将沉积炉与高温炉整合到一台设备节约了工作程序,降低设备运行成本、人力成本、时间成本等。
声明:
“化学气相沉积-高温处理一体化高温炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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