本实用新型涉及一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置。其包括:气源;反应腔体,其设有进气口和置物口,置物口设有开合门;主腔体,反应腔体位于主腔体内;主腔体内部设有加热装置,表面设有进气孔,进气孔通过气管与进气口连接;温度测量装置,包括温度传感器以及温度显示装置;抽真空系统,抽真空系统与主腔体连接;真空测量装置,连接于主腔体,其包括插入主腔体内的测量头;还包括:等离子体增强装置,其设置于气源与主腔体之间,气源通过管道与活性增强人口连接,活性增强出口通过法兰与进气孔连接。本实用新型通过设置等离子体增强装置对反应气体等离子化,增加反应气体的活性,使得反应气体反应的温度降低,且反应周期短,节省成本。
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