本实用新型涉及金刚石膜生长领域,尤其涉及一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置。该装置设有密闭的反应腔体,反应腔体的一端设有气体喷淋头,气体喷淋头通过管路与外部气源连接,反应腔体的另一端设有抽真空系统和真空测控系统;反应腔体内部设有中空的水冷样品台,水冷样品台的中空部分向内依次设有绝缘层、导电层、工件、热丝。本实用新型可以实现在工件内孔快速、均匀沉积金刚石薄膜,减少反应气体的消耗,沉积过程中能测控热丝的温度、工件表面的温度和反应腔内的压强,能准确控制金刚石薄膜沉积各项主要工艺参数,工艺重复性好。
声明:
“在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)