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化学稳健的微型气体传感器

1035   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:28
本发明题为“化学稳健的微型气体传感器”。本发明提供了一种微型气体感测设备，所述微型气体感测设备包括嵌有多个第一加热元件的基于硅的基板。多个电极设置在所述基于硅的基板上。气体感测层覆盖所述电极。多孔或中孔吸附剂层选择性地过滤气体混合物中除目标气体之外的组分，并且允许所述目标气体到达所述气体感测层。所述第一加热元件可操作以周期性地再生至少所述气体感测层的感测能力。
声明：
“化学稳健的微型气体传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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