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利用微波等离子体化学气相沉积法制备硒化铅薄膜的方法

1118   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:27
本发明属于红外探测技术领域，一种利用微波等离子体化学气相沉积法制备硒化铅薄膜的方法。该方法包括以下步骤：(1)采用热蒸发法在衬底上生长硒化铅薄膜；(2)采用微波等离子体化学气相沉积法处理硒化铅薄膜。本发明微波等离子处理方法没有导致硒元素流失，不改变原材料的元素构成与材料性质，仅烧结现象提高其结晶程度，增强光电性能。
声明：
“利用微波等离子体化学气相沉积法制备硒化铅薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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