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清洗装置及化学机械研磨装置

787   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:26
本发明提供了一种清洗装置及化学机械研磨装置，该清洗装置包括支撑结构、以及设置在支撑结构上且用于将晶圆保持在其上的旋转台。在支撑结构上还设置有清洗刷组件，清洗刷组件包括用于对晶圆表面进行清洗的清洗刷。且在支撑结构上还设置有颗粒监测器，颗粒监测器用于监测晶圆表面的颗粒分布情况。还包括控制器，该控制器与颗粒监测器通信连接，以接收颗粒监测器发送的晶圆的颗粒分布信息。且控制器还与清洗刷组件通信连接，以根据所接收的晶圆的颗粒分布信息，控制清洗刷组件直接对晶圆表面的颗粒进行清洗，从而提高清洗效果，提高整体良率。
声明：
“清洗装置及化学机械研磨装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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