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用于化学气相沉积液体原料汽化供给装置与使用方法

656   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:25
一种用于化学气相沉积液体原料汽化供给装置与使用方法，其供给装置包括储液罐、电子秤、汽化室、供气系统、管路、调节阀、截止阀、真空泵和真空计；其使用方法包括：1、预备阶段；2、流量调节阶段；3、稳恒供气阶段；4、停机阶段。本发明与现有的液体原料汽化供给系统相比，该装置能够准确地实时测量液体原料汽化蒸汽的流量，并能根据CVD生产系统中过程工艺参数的变化，实时调节控制上料阀的开度，使液态原料的汽化流量可调、可控，保持均匀，从而为化学汽相沉积（CVD）生产设备提供有利的液态原料汽化供给装置。
声明：
“用于化学气相沉积液体原料汽化供给装置与使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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