本发明涉及氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统及方法,包括:主控模块、算法模块、数据采集模块、电机控制模块、数字I/O模块、电机驱动数字I/O模块、通讯模块、显示单元和电源模块;方法包括主控模块实时采集压力传感器的腔内压力数据并显示,判断采集腔内压力数据是否超出光腔内压力允许范围;算法模块根据光腔内压力数据发送指令给数字IO模块进而控制电磁阀开关实现压力调节;通过显示单元发送控制信号给电机控制模块进而控制腔镜的X方向和Y方向的电机进行调节,并实时监测电机运行状态。本发明具有实时性强、稳定性高、操作简单、开发成本低等优点,特别适用于氧碘化学激光器的光学谐振腔中。
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