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基于悬浮工作电极的电化学敏感芯片及加工方法

824   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:25
本发明公开了一种基于悬浮工作电极的电化学敏感芯片及其加工方法，其包括衬底、金属电极薄膜的附着层、工作电极和其他电极，衬底正面中部设有腐蚀凹槽或第一腐蚀孔，金属电极薄膜的附着层铺设在腐蚀凹槽或第一腐蚀孔外部的衬底正面且金属电极薄膜的附着层中心设有与腐蚀凹槽或第一腐蚀孔连通的第二腐蚀孔，工作电极中部悬浮在第二腐蚀孔上，第二腐蚀孔通过工作电极两侧的空隙与工作电极上部连通。分别基于表面微加工技术或基于双侧体微加工技术，制备具有悬浮工作电极结构的电化学敏感芯片，工作电极正反面都与电解液直接接触，增加了工作电极参与电荷交换的有效面积，成功地提高了工作电极上的电流输出，提高测量信噪比。
声明：
“基于悬浮工作电极的电化学敏感芯片及加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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