本发明提供了一种纳米级氧化膜厚度的
电化学定量表征方法,该方法包括:多层薄膜样品的制备:将待测样品去除油污及杂质,在样品表面镀一层金属薄膜;电化学实验:用恒电位仪,将样品作为三电极系统中的工作电极,饱和KCl甘汞电极作为参比电极,Pt作为对电极,在含NaCl?0.1~10mol/L的溶液体系中,使用恒电流法,将电流密度控制在0.1~100mA/cm2的范围内,记下电位随时间的变化,直至腐蚀电位趋于稳定;定量表征:在材料、电流密度及电解液浓度不变的情况下,标定腐蚀速度,从而得到氧化膜的厚度。本发明的方法对纳米级氧化膜非常灵敏,结果可靠性高;取样面积大,获得的数据有代表性,可重复性高。
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