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在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统

638   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:16
本实用新型涉及一种在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统。目前常见的化学气相沉积炉加热室反碳程度判定方法，在加热室与马弗罐内分别设置压力传感器，根据内外压差和真空度，提示并判断反碳程度是否超标，往往不能真实反映加热室内反碳情况。本实用新型的判定系统将炉内每一个加热区的电阻带及炉衬分别串联一个多路转换开关后并联，再与电量变送器、变流电阻、单相降压变压器电源和炉壳串联成闭环测试电路系统；电量变送器接入智能数字仪表和报警提示系统。本实用新型通过测试某区变流电阻电流信号，在线通过程序控制使调功器间隔固定时间段呈高阻状态，对应计算出该时段对地绝缘电阻数值，间接反映炉内加热室反碳程度，可靠性强。
声明：
“在线式化学气相沉积炉的对地绝缘判定系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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