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闪锌矿结构化合物半导体的化学腐蚀液及其腐蚀方法

1059   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:16
本发明涉及表面处理技术领域，具体涉及一种闪锌矿结构化合物半导体的各向异性化学腐蚀液及其腐蚀方法。本发明所提供的腐蚀液包括氢氟酸、双氧水和去离子水，当氢氟酸采用体积百分数为40％的氢氟酸溶液、双氧水采用质量百分数为30％的双氧水溶液时，所述氢氟酸溶液、双氧水溶液和去离子水的体积比为(1.5～3):(1～2):1。该化学腐蚀液可以在闪锌矿结构化合物半导体的表面形成具有陷光作用的微纳结构，进而提高探测器的光耦合效率。本发明还提供闪锌矿结构化合物半导体的化学腐蚀方法，其可以快速而均匀地进行晶体减薄，并且减薄过程几乎不会导致晶体破碎，并最终可以提高衬底的光透过率，提高器件的光耦合效率，降低成本和时间。
声明：
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