合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 闪锌矿结构化合物半导体的化学腐蚀液及其腐蚀方法

闪锌矿结构化合物半导体的化学腐蚀液及其腐蚀方法

1117   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:16
本发明涉及表面处理技术领域,具体涉及一种闪锌矿结构化合物半导体的各向异性化学腐蚀液及其腐蚀方法。本发明所提供的腐蚀液包括氢氟酸、双氧水和去离子水,当氢氟酸采用体积百分数为40%的氢氟酸溶液、双氧水采用质量百分数为30%的双氧水溶液时,所述氢氟酸溶液、双氧水溶液和去离子水的体积比为(1.5~3):(1~2):1。该化学腐蚀液可以在闪锌矿结构化合物半导体的表面形成具有陷光作用的微纳结构,进而提高探测器的光耦合效率。本发明还提供闪锌矿结构化合物半导体的化学腐蚀方法,其可以快速而均匀地进行晶体减薄,并且减薄过程几乎不会导致晶体破碎,并最终可以提高衬底的光透过率,提高器件的光耦合效率,降低成本和时间。
声明:
“闪锌矿结构化合物半导体的化学腐蚀液及其腐蚀方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记