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化学机械式研磨装置的调节器

1058   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:15
本实用新型涉及化学机械式研磨装置的调节器，化学机械式研磨装置的调节器包括：旋转部；加压部，其配备于旋转部的上部，选择性地向旋转部施加轴向加压力；测量部，其配备于加压部与旋转部之间，在将加压部施加的加压力传递给旋转部的同时测量加压力；调节盘，其结合于旋转部的下部，以被加压力加压的状态，在借助于旋转部而旋转的同时对研磨垫进行改质。
声明：
“化学机械式研磨装置的调节器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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